这种设施、设备和管路全部用耐UF6的材料制成或用作衬里(见本节的注释)，并且按很高的真空和净度标准制造。
5.2.1.机械集管系统
专门设计或制造用于在离心机级联中操作UF6的管路系统和集管系统。管路网络通常是“三头”集管系统，每个离心机连接一个集管头。这样，在形式上有大量重复。所有的都用耐UF6的材料(见本节注释)制成并且按很高的真空和净度标准制造。
5.2.1.UF6质谱仪/离子源
专门设计或制造的磁质谱仪或四极质谱仪，这两种谱仪能从UF6气流中“在线”取得供料、产品或尾料的样品，并且具有以下所有特点：
1.原子质量单位的单位分辨率高于320;
2.离子源用尼赫罗姆合金或蒙乃尔合金制成或以这些材料作为衬里或镀镍;
3.电子轰击离子源;
4.有一个适合于同位素分析的收集系统。
5.2.4. 频率变换器
为满足5.1.2.(d)中定义的电机定子的需要而专门设计或制造的频率变换器(又称变频器或变换器)或这类频率变换器的部件、构件和子配件。
它们具有下述所有特点：
1.多相输出600?2000赫兹;
2.高稳定性(频率控制优于0.1%);
3.低谐波畸变(低于2%);和
4.效率高于80%。
注释
以上所列物项不是直接接触UF6流程气体就是直接控制离心机和直接控制这种气体从离心机到离心机以及从级联到级联的通路。
耐UF6腐蚀的材料包括不锈钢、铝、铝合金、镍或含镍60%以上的合金。
5.3. 专门设计或制造用于气体扩散法浓缩的组件和部件
按语
用气体扩散法分离铀同位素时，主要的技术组件是一个特制的多孔气体扩散膜、用于冷却(经压缩过程所加热)气体的热交换器、密封阀和控制阀以及管道。由于气体扩散技术使用的是六氟化铀(UF6)，所有的设备、管道和仪器仪表(与气体接触的)表面都必须用同UF6接触时能保持稳定的材料制成。一个气体扩散设施需要许多这样的组件，因此其数量能提供最终用途的重要迹象。
5.3.1. 气体扩散膜
(a)专门设计或制造的由耐UF6腐蚀的金属、聚合物或陶瓷材料制成的，很薄的多孔过滤膜，孔的大小为100?1000A.，(埃)，膜厚5毫米(0.2英寸)(或以下)，对于管状膜来说，直径为25毫米(1英寸)(或以下);和
(b)为制造这种过滤膜而专门制备的化合物或粉末。这类化合物和粉末包括镍或含镍60%(或以上)的合金、氧化铝或纯度99.9%(或以上)的耐UF6的完全氟化的烃聚合物，颗粒大小低于10微米。颗粒大小高度均匀。这些都是专门为制造气体扩散膜准备的。
5.3.2. 扩散室
专门设计或制造的直径大于300毫米(12英寸)，长度大于900毫米(35英寸)的密闭式圆柱形容器或尺寸相当的方形容器;该容器有直径都大于50毫米(2英寸)的一个进气管和两个出气管，容器用于容纳气体扩散膜，由耐UF6的材料制成或以其作为衬里，并且设计卧式或垂直安装。
5.3.3. 压缩机和鼓风机
专门设计或制造的轴向离心式或正排量压缩机或鼓风机。压缩机或鼓风机吸气能力为1立方米UF6/分(或更大)，出口压力高达几百千帕(100磅/平方英寸)，设计成在具有或没有适当功率的电动机的UF6环境中长期运行。这种压缩机和鼓风机的压力比在2∶1和6∶1之间，用耐UF6的材料制成或用其作为衬里。
5.3.4. 转动轴封
专门设计或制造的真空密封装置，有密封式进气口和出气口，用于密封把压缩机或鼓风机转子同传动马达连接起来的转动轴，以保证可靠的密封，防止空气渗入充满UF6的压缩机或鼓风机的内腔。这种密封装置通常设计成将缓冲气体泄漏率限制到小于1000立方厘米/分(60立方英寸/分)。
